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摘要
本发明公开了一种基于傅里叶三点法的工件直线度自校准测量方法,此方法先将三个位移传感器安装在不同的位置,测量工件表面的位移信号,计算出第二、第三个传感器之间的高度差,并对第三个传感器信号进行补偿,之后,进行傅里叶三点法计算工件直线度各谐波的傅里叶估计值和传递行列式,然后,改变第一个传感器的位置,进行多次傅里叶三点法测量,根据传递行列式的最大值挑选最优的傅里叶系数估计值,最终,由最优的傅里叶系数估计值计算出工件直线度。本发明可避免耗时繁琐且精度难以保障的手动调节,降低调节成本,操作简单,重复性高,操作方法易实现。
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