一种表面等离激元增强型LED

作者：李国强; 柴华卿; 姚书南; 林志霆; 王文樑

来源：2020-12-31, 中国, ZL202023326858.7.

本实用新型属于LED的技术领域,公开了一种表面等离激元增强型LED。表面等离激元增强型LED,包括导电衬底,第一绝缘层、金属P电极、金属纳米层、金属键合层、柱状N电极、第二绝缘层、DBR反射层、p型GaN层、InGaN/GaN多量子阱层、n型GaN层；结构中电极为嵌入式电极结构。本实用新型将嵌入式电极结构和金属纳米层结合提高了GaN基LED光源量子效率、光输出功率、增强光通信的调制带宽；且金属纳米层易于制作在外延生长之后,避免了以往中断外延层生长而沉积金属,最终对外延腔室造成污染的问题。

• 单位
  华南理工大学