摘要

采用EBSD测试分析方法研究了电子铝箔在热轧、冷轧、箔轧、中间退火、终轧及成品退火加工工序中的各织构演变规律、取向分布差演变规律和晶粒尺寸演变规律。结果表明,热轧后各织构含量极低。立方织构在成品退火前后由3.8%迅速增加到98.8%。黄铜织构含量在箔轧前后由27.4%增加至46.1%,随后在中间退火工序中略有减小,在终轧工序中迅速减小至18.6%。S织构含量在箔轧前后由32%增加至37.7%,随后在中间退火过程中含量略有减小,在终轧时降低至27.8%。R织构含量在中间退火时为2.2%,在终轧工序中增加至7.3%。铜织构含量在前期较低,冷轧时仅为1.4%,终轧时升至5.7%。高斯织构在各个加工工序中的含量皆较低。各织构在TD方向上分布较为不均匀,在RD方向上分布相对均匀。取向分布差在整个加工工序中皆分布在15°以内,但成品退火时与其他加工工序有一定区别,2°以内占比从75%左右降低至45%左右,2°~10°的占比较其他加工工序明显有所增加。从热轧、冷轧到箔轧,平均晶粒尺寸由14.1μm逐渐减小至4.6μm,随后随着中间退火、终轧的进行又逐渐增加至14.5μm,成品退火时迅速增加至82.7μm。