射频电感耦合夹层等离子体中的模式转换

作者：杜寅昌; 曹金祥; 汪建; 郑哲; 刘宇; 孟刚; 任爱民; 张生俊

来源：Acta Physica Sinica, 2012, (19): 337-342.

• ICP放电
• E-H模
• 等离子体源
• 等离子体光谱 ICP discharge
• E-H Mode
• plasma source
• plasma spectrum

本文利用微波相位法和光谱诊断法,研究了ICP放电等离子体在圆台状夹层等离子体中E模和H模相互转换的物理现象.E模和H模的之间转换过程是一个瞬间突变的,转换点的输入功率随真空室压强的变化而变化.H模向E模转换的阈值功率低于E模向H模转换的值,等离子体参数随输入功率变化曲线类似于铁磁物质中的磁滞回线.ArⅡ408.2 nm谱线的强度的变化规律和电子密度随功率变化的规律基本一致.通过本实验可以获得一种电子密度范围为3.85×10~(11)cm~(-3)<n_e<4.68×10~(11)cm~(-3),外表面积为0.3 m~2,厚度为2 cm稳定工作的等离子体源.

• 单位
  中国科学院; 中国科学技术大学