真空蒸发镀膜法制备金属铈薄膜的表征

作者：吕绪明^*; 马贤; 何荧; 罗立平; 张晓卫

来源：稀有金属与硬质合金, 2019, 47(04): 39-43.

• 真空蒸发镀膜
• 电磁感应加热
• 铈薄膜
• 不锈钢基体

采用真空蒸发镀膜法在不锈钢基体上制备金属铈薄膜,利用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)研究铈薄膜的形貌和物相结构,通过俄歇电子能谱仪(AES)和X射线光电子能谱仪(XPS)测量元素形态及膜层深度。分析结果表明:金属铈薄膜表面致密,与不锈钢基体紧密结合,膜层的厚度约为24μm;金属铈薄膜的表面已经被氧化,氧化膜的厚度约为340 nm,其成分主要由CeO2组成,也含有少量的Ce2O3。

• 单位
  核工业理化工程研究院