四探针探头的生产工艺及改进

作者：周映芬

来源：南方金属, 2013, (03): 21-23.

• 四探针探头
• 弹簧片
• 渗漏
• 接触不良 Fore-point probe
• Spring piece
• Pour
• Poor contact

介绍四探针电阻率测试仪四探针探头的生产工艺;针对高温环氧浇铸锥头时,浇液容易渗漏到锥头与模具之间的空隙而产生高温环氧的空洞,装配探头时,探针与弹簧片接触不良等问题提出预防措施及改进方法.

• 单位
  广州半导体材料研究所