掺Cd对ZnO薄膜光学性能的影响

作者：陈航; 邓宏; 戴丽萍; 陈金菊; 韦敏

来源：人工晶体学报, 2008, (01): 213-217.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2008.01.040

• 溶胶-凝胶法
• Cd掺杂
• 光学禁带
• 红移 Sol-gel method
• Cd-doped
• optical band-gap
• red shift

采用溶胶-凝胶法在石英玻璃上制备了不同掺Cd浓度的ZnO薄膜。X射线衍射(XRD)结果表明,所制备的薄膜具有c抽择优取向,随着Cd掺杂浓度的升高,(002)峰向低角度方向移动。UV透射曲线表明,薄膜具有明显的紫外吸收边,通过改变Cd的掺入浓度,可以使吸收边向长波方向移动并被控制在一定范围内,从而使薄膜的禁带宽度连续可调;薄膜的光致发光(PL)谱显示,ZnO薄膜的PL谱是由紫外激子发光峰和蓝光发光带组成,通过掺入Cd可使紫外带边发射的峰位向低能端方向红移,这与透射谱中吸收带边的红移相吻合,由紫外发光峰得到的光禁带宽度和由透射谱拟合得到的光禁带基本一致。对不同掺杂浓度的薄膜进行了比较,发现Cd掺入...

• 单位
  电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室