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摘要
位置敏感探测器(Position Sensitive Detector,PSD)是一种基于半导体表面阻抗特性原理的连续性光电半导体位移检测器件,具有位置分辨率高和响应速度快等优点。采用PSD进行非接触振动测量,既不会影响被测对象的振动特性,又能有效避免传统加速度传感器超低频振动测量时的漂移问题,克服了需要速度、位移作为反馈或前馈控制量时所带来的积分相位漂移和频响带宽下降等缺点。本文设计了基于PSD的振动检测及控制系统,详细分析了影响测试性能的主要因素并提出了解决方法。基于设计的测量系统,进行了振动检测及控制实验,实验结果验证了该测量方法的有效性。
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