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摘要
Particle Gap是TFT-LCD制程中常见的一种缺陷。以55UHD产品为例,Particle Gap发生率约为1.0%,对产品良率影响较大,为提升液晶屏品质和客户满意度,急需改善此不良。文章结合不良现象研究Particle Gap的主要异物模式,最终通过改善CF研磨失败异物、沙粒状异物和透明状异物这种模式达到整体Particle Gap降低的效果。首先利用流程图分析影响异物模式的关键步骤,然后通过鱼骨图、决策矩阵、假设检验验证找出影响异物模式的显著因素,最后通过合力促进法总结出显著因素的最佳改善方案,导入量产并文件标准化,可平行推广至55UHD以外的其它尺寸。改善结果表明:通过以上3种异物类型的改善,55UHD Particle Gap发生率降低至少30%,为公司带来了巨大且显著的硬性节省。
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