基于Silvaco Atlas的SOI器件性能仿真研究

作者：黄玮; 杨月霞; 林慧敏

来源：电子制作, 2017, (12): 26-27.

DOI：10.16589/j.cnki.cn11-3571/tn.2017.12.010

• Silvaco Atlas
• SOI结构
• SOIMOS器件

本文主要针对SOI器件结构展开研究,对于SOIMOS器件的结果和特性进行分析,讨论,并利用SILVACO TCAD软件来对SOI的器件结构与性能进行仿真,与研究分析结果进行比对,可以看出SOI器件能够有效改善MOS器件的阈值和亚阈值特性。

• 单位
  江苏信息职业技术学院