微波管电子枪真空除气系统设计

作者：王博锋; 胡旭华; 周冠丽; 李宏宇; 周健勇; 王小霞; 张兆传^*

来源：真空, 2019, 56(01): 6-10.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2019.01.02

• 微波管
• 电子枪
• 真空除气系统
• 超高真空
• 测量

在微波管研制过程中,电子枪真空除气过程的主要作用是对阴极进行加热,获得灯丝电流电压与温度的关系曲线、检验电子枪正常工作时灯丝的电流电压,测试电子枪快速启动参数,测量阴极、聚束极热膨胀量和阴极高温时电子枪材料充分预蒸散从而减少电子枪的蒸散物。根据微波管电子枪结构特点和性能要求,设计和开发了极限真空度2×10-7Pa且具有温度、膨胀量等性能测试功能的双工位电子枪真空除气系统。除气系统由直联泵作为前级泵、分子泵和离子泵为主泵构成超高真空系统,采用阀门的切换可实现两工位在超高真空度下同时工作且互不干扰,有效提升了电子枪的品质,缩短了研制进度。每个工位均配置"分子泵启动允许"、"离子泵启动允许"、"分解电源开允许"及"真空异常"指示灯,防止误操作对电子枪部件或除气系统带来损坏。测试结果表明微波管电子枪真空除气系统的工作原理、结构设计合理,性能优良,适用于不同型号微波管电子枪,在电子枪研制生产过程中发挥了重要的作用。

• 单位
  中国科学院; 上海卫星装备研究所; 中国科学院大学; 中国科学院电子学研究所