国外研发超高灵敏度MEMS加速度传感器

来源：机床与液压, 2019, 47(15): 175.

<正>东京工业大学校长益一哉等人与NTT尖端技术公司利用包含多个金属层的积层金属结构,成功开发出具有超低噪声和超高灵敏度的MEMS (微机电系统)加速度传感器,实现了1微(μ) G级(G=9. 8 m/s2,重力加速度)的高分辨率检测。MEMS (Micro-Electro Mechanical System)就是将传统传感器的机械部件微型化后,通过三维堆叠技术,例如三维硅穿孔TSV等技术把器件固定在硅晶元上,最后根据不同的应用场合采用特殊定制的封装形式,最终切割组装而成的