晶圆制造中APQP提升研发产品质量的应用

作者：戴敏洁

来源：集成电路应用, 2020, 37(05): 40-42.

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2020.05.013

• 集成电路制造
• 产品质量先期策划
• 质量控制

基于集成电路制造的质量管控和提高在晶圆制造过程中,分析了在晶圆研发阶段运用APQP工具,结合多种质量工具,在晶圆制造阶段的早期整合应用,提升晶圆产品质量。