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晶圆制造中APQP提升研发产品质量的应用
作者:戴敏洁
来源:
集成电路应用
, 2020, 37(05): 40-42.
DOI:10.19339/j.issn.1674-2583.2020.05.013
集成电路制造
产品质量先期策划
质量控制
摘要
基于集成电路制造的质量管控和提高在晶圆制造过程中,分析了在晶圆研发阶段运用APQP工具,结合多种质量工具,在晶圆制造阶段的早期整合应用,提升晶圆产品质量。
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