智能传感器技术发展综述

作者：殷毅

来源：微电子学, 2018, 48(04): 504-519.

DOI：10.13911/j.cnki.1004-3365.180179

• 智能传感网
• MEMS
• CMOS
• 光谱学

从智能传感器的概念和架构出发,研究了MEMS、CMOS、光谱学等主流技术智能传感器的基本发展情况。探讨了智能传感器的实现途径。列举了军用智能传感器的重点应用领域和技术。结合国内实际情况,提出关于智能传感器的发展建议。