MEMS加速度传感器及压电式加速度传感器失效机理的分析

作者：李绍凯

来源：电子技术, 2023, 52(03): 12-13.

• 加速度传感器
• 失效模式
• 结构分析

阐述MEMS加速度传感器和压电式加速度传感器的原理，包括压阻式和电容式的加速度传感器、探讨失效模式、失效机理，给出避免失效的方法。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十九研究所