SEM原位压痕仪可以进行定量微纳米力学测试并同步获取SEM成像,两项技术耦合可以实现精确定位和整个测试过程中变形成像。在上述技术基础上进行技术创新与改进,拓宽了原位压痕仪技术应用范围,修改了部分代码并调整实验方法,实现了定性的划痕实验,并针对大变形软材料扩大了其位移量程,使原位压痕仪的使用功能更加广泛。该创新技术为科研工作和学生培养发挥了重要作用,提供了更完善的技术支持和保障,同时,该技术成果提高了SEM原位压痕仪设备的应用水平,对高水平实验室的技术建设起到了促进作用。
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