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摘要
为满足工业液压系统对大量程压力传感器的需求,研制了一种基于Fabry-Perot(F-P)干涉仪原理的大量程小型化压力传感器。该传感器使用金属圆筒作为压力感知元件,金属圆筒轴向变形挤压毛细石英管,进而使毛细石英管内部的F-P腔产生位移,通过解调F-P腔的腔长变化可在35MPa压力范围内实现压力测量,同时串联自由的光纤布拉格光栅(FBG)实现温度补偿。实验结果表明,该传感器的压力灵敏度为0.19μm/MPa,温度灵敏度为0.31μm/℃,线性相关系数均为0.99以上,在实际液压管路的测量中具有很高的应用价值。
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单位武汉理工大学; 机电工程学院
