0.3 ng/Hz1/2超高灵敏度MEMS加速度计研究进展

作者：王秋; 刘骅锋; 许强伟; 宋萧萧; 严世涛; 涂良成

来源：中国惯性技术学报, 2020, 28(01): 100-105.

DOI：10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2020.01.016

• 超高灵敏度加速度计
• 微机电系统
• 稳定性
• 噪声评估
• 环境适应性

采用微纳加工工艺制备了硅基微机电(MEMS)超高灵敏度加速度计,并针对超高灵敏度MEMS加速度计进行了结构设计及仿真。通过独特自主的体硅一体化刻穿工艺加工出MEMS加速度计敏感结构,测得MEMS加速度计噪声谱密度在1 Hz处为0.3 ng/Hz1/2,46 h偏值稳定性为740 ng,量程1 mg,带宽10 Hz,抗随机振动可达8 g(RMS),抗冲击过载1000 g。相比于传统的高精度加速度计,本文提出的基于微纳加工工艺的硅基超高灵敏度MEMS加速度计体积小、重量轻、环境适应性强,具有可批量化生产和成本低的优势,有望用于对灵敏度有较高要求的微震测量、微重力环境应用、空间探测等领域。

• 单位
  物理学院; 华中科技大学