摘要
随着科技的进步,传感器技术领域研发创新层次不断提升,MEMS传感器在各个领域实现广泛应用,例如,在环保领域中,可以实现数据的上传与储存;同时,可应用于医疗行业,例如,可植入人体器官,降低心脏病的发生概率等。以上举例都借助了MEMS传感器的技术特点,在各领域进行应用。基于此,本文首先论述了MEMS传感器的分类及主要特点,其次,主要从环保领域、生物医学领域、军事领域和航天领域等方面,阐述了MESM传感器的应用现状,并结合目前科技进度的发展趋势,提出了MESM传感器的发展方向。
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随着科技的进步,传感器技术领域研发创新层次不断提升,MEMS传感器在各个领域实现广泛应用,例如,在环保领域中,可以实现数据的上传与储存;同时,可应用于医疗行业,例如,可植入人体器官,降低心脏病的发生概率等。以上举例都借助了MEMS传感器的技术特点,在各领域进行应用。基于此,本文首先论述了MEMS传感器的分类及主要特点,其次,主要从环保领域、生物医学领域、军事领域和航天领域等方面,阐述了MESM传感器的应用现状,并结合目前科技进度的发展趋势,提出了MESM传感器的发展方向。