SiGe半导体在微电子技术发展中的重要作用

作者：马良

来源：中国新通信, 2019, 21(20): 222.

DOI：10.19695/j.cnki.cn12-1369.2019.05.117

• SiGe半导体
• 微电子技术
• 重要作用

本文对SiGe半导体的类型进行分析,主要介绍了双极型晶体管与异质结双极型晶体管两种,并对SiGe半导体的重要作用加以阐述,包括提高载流子迁移率、应变工程技术应用、应变引入方法等方面,力求使SiGe半导体在微电子技术发展中得到广泛应用。

• 单位
  国家知识产权局