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摘要
一种复合导电薄膜及其制备方法以及薄膜晶体管,复合导电薄膜由导电氧化物薄膜和纳米导电材料层堆叠构成,导电氧化物薄膜位于纳米导电材料层之下；复合导电薄膜的制备工艺如下：步骤S1,在基底上用喷墨打印方式打印导电氧化物墨水,并进行第一次退火处理,第一次退火处理后形成导电氧化物薄膜；步骤S2,在导电氧化物薄膜上用喷墨打印方式打印纳米导电材料层,并进行第二次退火处理,第二次退火处理后形成复合导电薄膜。复合导电薄膜能够作为薄膜晶体管的源极或者漏极。该复合导电薄膜化学稳定性好,电导率高,纳米导电材料的扩散度小且抗腐蚀性好。应用于薄膜晶体管时使薄膜晶体管具有接触电阻小、开态电流大和器件迁移率高的特点。
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