摘要
高热导率氮化硅陶瓷作为基板材料有着广泛的应用前景。如何在尽可能保持氮化硅陶瓷机械性能的前提下,提高其热导率是其实际应用的关键,而选择适当的烧结助剂是提高热导率的一个重要途径。本文研究了稀土氧化物种类及CaO、MgO烧结助剂对氮化硅陶瓷的热导率及电学和机械性能的影响,分别采用Y_2O_3-MgO,Y_2O_3-CaO,CeO_2-MgO,CeO_2-CaO,La_2O_3-MgO和La_2O_3-CaO 6种烧结助剂,采用放电等离子烧结后热处理的工艺制备氮化硅陶瓷。研究结果表明:氮化硅陶瓷的热导率随着烧结助剂稀土元素阳离子半径的增大有减小的趋势;与添加MgO助烧结相比,添加CaO助烧结不利于氮化...
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单位新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室