压电薄膜自适应变形微反射镜阵列研究

作者：娄迪; 张巍; 白剑; 杨国光

来源：光电子.激光, 2007, 18(12): 1418-1421+1425.

DOI：10.3321/j.issn:1005-0086.2007.12.006

• 自适应光学
• 变形微反射镜阵列
• Pb(ZrxTi1-xO3)(PZT)薄膜
• 压电效应 adaptive optics
• deformable micro-mirror array
• Pb(ZrxTi1-xO3) (PZT) thin film
• piezoelectric effect

介绍了自适应光学系统中的一种全新的基于Pb(ZrxTi1-xO3)(PZT)薄膜的微反射镜阵列。通过控制PZT薄膜两端电压实现微镜单元的微量形变,改变反射镜局部面形,校正畸变波面的波差,改善成像质量。该方案在重掺杂Si片基底上依次制备PbTiO3(PT)、PZT,最后镀Al作为反射面,形成Si/PT/PZT/Al的膜层结构。对制备完全的试片在数字波面干涉仪上进行了形变测试,尽管受到了薄膜热形变作用的影响,仍实现了约1.2μm的可控形变,证明该方案用做自适应变形反射镜的可行性。

• 单位
  浙江大学; 现代光学仪器国家重点实验室