炭/炭复合材料制造硅晶体生长坩埚初探

作者：蒋建纯; 周九宁; 浦保健; 黄伯云

来源：炭素, 2004, (02): 3-7.

• CZ
• MCZ
• 单晶硅
• 炭/炭复合材料
• 坩埚 CZ
• MCZ
• single crystal silicon
• C/C composite
• crucible

多晶硅用直拉法(CZ)或磁场直拉法(MCZ)拉制成单晶硅棒。晶体生长炉热场零件中的石墨发热体、坩埚等在机械应力和热应力的综合作用下发生变形或损坏造成失效,更换频繁。选用纯度高的炭纤维制成待制件的多孔坯体,经过增密、纯化处理制成炭/炭复合材料坩埚。试制的两体12"炭/炭复合材料坩埚进行了工业性试验。炭/炭复合材料机械强度高、耐热冲击性能和化学稳定性好,其使用寿命大大高于高纯石墨坩埚。两体的连接止口的氧化侵蚀限制了坩埚的使用寿命。单晶硅设备的大型化、炭/炭复合材料势必成为晶体生长炉热场零件的必选材料。

• 单位
  中南大学; 粉末冶金国家重点实验室