全密封超薄碳纳米管玻璃平板字符显示器件制造工艺的初步探讨

作者：李宏彦; 刘光诒; 夏善红; 叶久龙; 杨久霞; 支春义; 王恩哥; 戴居丰

来源：液晶与显示, 2005, (06): 476-480.

• 碳纳米管
• 阵列场电子发射电子源
• 平板型字符(图像)显示器件
• 场助(或偏置増强)热丝化学气相沉积
• 二极管
• 荧光粉 carbon nanotubes
• field emission array electron source
• flat panel character (picture) display tube
• field assistant hot filament chemical vapor deposition
• diode
• fluorescent material

利用自制的场助热丝化学气相沉积设备,在不锈钢电极的部分选取表面上,摸索出了直接生长碳纳米管(CNT s)勿须涂敷催化剂的新方法。利用得到的高定向多壁碳纳米管薄膜,研究出一种制造大面积实用碳纳米管阵列场发射(CNT s/FEA)阴极的新方法。经真空条件下的发射特性测量及SEM等检测手段肯定了这种CNT s/FEA阴极的实用性。从工艺流程角度出发,初步探讨了静态工作制式下,采用碳纳米管做电极后,实现一种全密封超薄碳纳米管玻璃真空字符(或图像)显示器件的可能性。10多只封离管共显示过3种类型的字型(图像),全部管厚仅为2·7mm。实验结果不仅提供了一种碳纳米管阴极在玻璃真空平板型器件内应用的方法,也...

• 单位
  中国科学院物理研究所; 传感技术国家重点实验室; 京东方科技集团股份有限公司; 天津大学; 电子信息工程学院