利用等离子体聚合的方法对两种有机单体(正丙醇和丙烯醇)进行了等离子体聚合,成功地在Si基体上沉积了高分子薄膜.利用XPS研究了薄膜的结构和不同工艺对沉积速度的影响.研究表明,随着功率的增加或工作气压的增加,沉积速率增加;偏压的增加使等离子体聚合的沉积速率减小.研究还发现,丙烯醇含有双键结构,其沉积速率比正丙醇大.
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