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摘要
开尔文探针原子力显微镜（KPFM）采用开尔文（Kelvin）方法来测量探针和样品间的电势差，是一种基于扫描探针原子力显微镜的半导体薄膜样品表面功函数（表面电势）测量方法，其可以在测试样品表面形貌的同时获得与形貌相对应位置的表面功函数分布图。使用KPFM测试碲化隔多晶薄膜样品退火前后的表面电势的变化，可以分析多晶薄膜晶界和晶粒处的表面功函数的差异。测试结果对于分析多晶半导体薄膜在晶界和晶粒内部的载流子输运及界面钝化具有重要意义。KPFM具有很高的分辨率和灵敏性，很适合用于多晶半导体薄膜表征测试。
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