低气压下N型晶硅太阳电池P型发射极的两步扩散法制备研究

作者：马晓波^*; 曹志杰; 沈宏君; 樊凯; 康欣欣; 米金辉

来源：材料导报, 2022, 36(22): 189-193.

• N型晶硅电池
• P型发射极
• 两步扩散法

太阳能电池是人类使用清洁能源的重要组成部分，在“碳达峰与碳中和”国际政策背景下，大力发展清洁能源技术，是解决能源环境问题的根本性途径。N型太阳能电池具有杂质容忍度大、少子寿命长等优点，更有益于提高电池转换效率和降低生产成本，是高效晶硅太阳能电池发展的主流。然而，硼原子的分凝系数远高于磷原子，使得硼扩散工艺十分困难。基于此，本工作采用两步扩散法，研究低气压下气体流量、预沉积时间、再分布时间等工艺参数对P型发射极方阻和均匀性的影响。通过对硼扩散后N型电池的少子寿命衰减的物理机制进行深入剖析，对所制备N型电池的性能进行表征。最终，在优化工艺的条件下，实现了P发射极的方阻不均匀性不高于4%的有效改善。本研究可为高效N型电池的制备提供重要的技术参考。