无需精确调整被测镜的平面面形检测新方法

作者：张培洁; 赵维谦; 杨帅; 邱丽荣^*

来源：仪器仪表学报, 2019, 40(05): 43-50.

DOI：10.19650/j.cnki.cjsi.J1904961

• 面形检测
• 旋转平移
• 特征匹配
• 迭代
• Zernike多项式

现有的面形绝对检测法为了保证检测精度,在测量过程中需要耗费大量时间对被测镜进行精密的姿态调整。针对上述问题,提出了一种无需精密调整被测镜姿态的两平面面形检测方法。该方法需被测镜在3个位置进行测量:初始位置、旋转未知角度后的位置、横向平移未知距离后的位置。通过特征匹配求解被测镜实际旋转角度和平移量,通过迭代算法和拟合Zernike多项式恢复被测镜面形,并对被测镜面形中损失的角频率项进行补偿。该方法在保证精度的同时,避免了被测镜的精密调整,缩短了测量时间。实验表明,该方法与Vannoni的方法相比,二者检测结果的残差均方根(RMS)值为0. 004λ,测量中被测镜调整过程快速简单连贯,为光学元件的面形检测提供了一种新的技术途径。

• 单位
  北京理工大学