研究了磁控溅射法制备的经不同温度热处理的掺铒氮氧化硅薄膜的光致发光和电致发光特性。实验发现光致发光中，提高热处理温度会促使硅纳米团簇的形成，它们的存在对薄膜中Er3+离子的发光起到了敏化作用。在电致发光中，硅纳米团簇无法成为载流子的捕获中心，敏化剂变为硅悬挂键，注入的电子和空穴可以在硅悬挂键引入的相关陷阱能级处复合，复合后的能量传递给铒离子后使其产生发光。
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