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摘要
采用时域有限差分法（FDTD）设计了一种具有超广角中红外波段减反射Si材料亚波长周期微纳结构，实现了在超广角（15°～80°）斜入射时大幅提高减反射性能。使用控制变量法分析了亚波长结构的周期、结构高度、底端直径和顶端直径对反射率的影响，并剖析结构参数对宽带和宽角度的影响机理。通过仿真计算研究表明：区别于传统的减反射结构，四棱台结构在中红外波段超广角入射时可以保持较低的反射率，平均反射率低至1%左右，最低可至0.01%，为超广角宽带抗反射结构的设计提供了新的设计方案。
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单位中国科学院光电技术研究所; 长春理工大学; 微细加工光学技术国家重点实验室; 中国空间技术研究院
