基于台阶刻蚀工艺的GaInP/GaAs/Ge太阳电池激光划片研究

作者：许军; 铁剑锐; 孙希鹏; 康洪波^*

来源：电源技术, 2022, 46(05): 549-551.

• 台阶刻蚀
• 激光划片
• 热效应

通过湿法台阶刻蚀工艺，在GaInP/GaAs/Ge太阳电池晶圆上按设计尺寸做成切割槽，继而采用皮秒或纳秒激光划切晶圆衬底，完成尺寸误差低于10μm的电池切割，该工艺制备的太阳电池性能与金刚石砂轮划片效果等同。和金刚石砂轮划片工艺相比，激光划片具有速度快、切割图形多样、维护周期短等优点。

• 单位
  天津恒电空间电源有限公司; 河北建筑工程学院