玻璃衬底二氧化钒薄膜的宽频带太赫兹波调制特性

作者：陈晨; 罗振飞; 蒋亚东; 吴志明; 孟庆龙; 杨存榜; 周逊; 张彬

来源：强激光与粒子束, 2016, 28(02): 103-108.

• 二氧化钒
• 太赫兹
• THz时域光谱系统
• 调制

针对二氧化钒(VO2)薄膜在可调谐太赫兹功能器件中的应用,采用磁控溅射法在K9玻璃衬底上制备了VO2薄膜,并用X射线衍射(XRD)对薄膜的晶相进行表征。利用配备加热装置的太赫兹时域光谱系统(THz-TDS)研究了薄膜样品在变温过程中的THz反射、透射光谱特性及其变化规律。实验结果表明,随着加热温度的升高,VO2薄膜发生半导体-金属相变并对宽频段THz波产生显著的调制作用。调制深度明显依赖于THz频率,薄膜样品对THz波反射功率、透射率的幅度调制深度在0.30.5THz范围波动较大;对THz波的透射率在低频处较大,高频处较小,调制深度在35%65%之间变化。该薄膜制备简单,质量高,可应用于太赫兹开关和调制器等功能器件。

• 单位
  光电信息学院; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 四川大学; 电子科技大学; 中国工程物理研究院激光聚变研究中心