激光回馈效应及其传感应用研究的进展

作者：毛威; 张书练; 张连清; 朱钧; 李岩

来源：光学技术, 2007, 33(1): 16-22,26.

DOI：10.3321/j.issn:1002-1582.2007.01.001

• 激光回馈
• 自混合干涉
• 位移测量
• 速度测量
• 振动测量
• 距离测量
• 角度测量
• 形貌测量

对基于激光回馈效应的传感应用研究进展进行了综述.由于激光回馈引起激光器功率波动一个条纹对应外部反射镜移动半个光波波长,功率波动深度与传统双光束干涉系统相当,基于该现象的激光回馈干涉仪与传统的干涉仪相比具有相同的相位灵敏度.但其结构简单、紧凑、易准直的特点,引起了国内外科研者浓厚的兴趣,开发了很多全新概念、经济实用的精密测量仪器.对激光回馈效应在位移测量、速度测量、振动测量、距离测量、角度测量和形貌测量中的原理进行了介绍,同时对各传感应用系统进行了评述.

• 单位
  精密测试技术及仪器国家重点实验室; 清华大学