自适应微反射镜阵列制作与性能测试

作者：阎传文; 白剑; 侯西云; 杨国光

来源：光学仪器, 2008, (05): 9-13.

• 自适应光学
• 微反射镜
• 微光机电系统
• 微光学 adaptive optics
• micro-mirror
• micro-opt-electro-mechanical systems(MOEMS)
• micro-optics

为了改善微反射镜存在的驱动电压高、驱动力小的缺点,基于双金属效应,制得可调焦微光学自适应阵列。以硅为基底,先后经过热氧化、光刻显影、HF酸刻蚀、KOH湿法刻蚀,溅射铝膜等微加工工艺,制得的4×4阵列,基底厚50μm,硅表面铝膜厚100nm。利用激光数字波面干涉仪对可调焦微反射镜的动态性能进行了测试。实验表明,在0~11V电压范围内,可产生最大7.91μm的连续变形。