衬底的Al化处理对AlN性能的影响

作者：贾辉; 石璐珊; 黄鑫; 叶太兵

来源：人工晶体学报, 2017, 46(08): 1540-1544.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2017.08.019

• 衬底的Al化处理
• MOCVD
• AlN
• 晶体质量
• 应变

研究了衬底的Al化处理对采用MOCVD法在c面蓝宝石衬底上高温生长Al N外延层的影响机制。通过原位监测监控整个外延生长过程,同时对Al N外延层的表面形貌和晶体质量以及应变状态进行表征研究。结果表明衬底的Al化处理导致Al N外延层的表面更加平整但是晶体质量下降,同时对外延层的应变也有很明显的影响。

• 单位
  宁波市科技信息研究院; 公安海警学院