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摘要
针对高精度微小流量测量场合对高稳定流量计的应用需求，介绍一种基于铂电阻的硅基MEMS热式流量传感器芯片的研制。利用铂电阻作为加热和测温电阻，提升MEMS流量传感器芯片的稳定性。将铂电阻制作于悬空介质层上，提升MEMS流量传感器芯片的响应速度和灵敏度。通过有限元仿真，优化MEMS流量传感器的芯片结构，使其铂电阻TCR与响应速度都有良好表现。通过优化封装结构，封装后的MEMS流量传感器芯片在0～200mL/min范围内具有较好的稳定性和响应，测量精度小于测量值的0.8%，满足绝大部分同类流量测量的技术需求。
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