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摘要
本发明公开了一种提高介质/Cu/Ag/介质多层透明导电膜可见光区光电性能和透过率均匀性的方法,是在基底上依次沉积底层介质薄膜和Cu薄膜后,先在空气中放置一段时间,然后再依次沉积Ag薄膜和顶层介质薄膜。在空气中放置可以改变Cu的化学状态,进而增强了对Ag薄膜岛状生长的抑制效果,从而同时提高了多层透明导电膜可见光区光电性能和透过率均匀性。
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本发明公开了一种提高介质/Cu/Ag/介质多层透明导电膜可见光区光电性能和透过率均匀性的方法,是在基底上依次沉积底层介质薄膜和Cu薄膜后,先在空气中放置一段时间,然后再依次沉积Ag薄膜和顶层介质薄膜。在空气中放置可以改变Cu的化学状态,进而增强了对Ag薄膜岛状生长的抑制效果,从而同时提高了多层透明导电膜可见光区光电性能和透过率均匀性。
