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摘要
Radio frequency quadrupole(RFQ)的生产制造精度和测量的准确性是RFQ腔体能否成功出束的关键之一,传统几何尺寸及形位公差的测量通常使用游标卡尺、深度游标尺、千分尺等常规器具,难以实现空间内较为复杂元素的高精度测量,而三坐标测量机能够实现空间复杂元素的高精度测量。通过对三坐标测量机的工作原理的研究、选择最佳的装夹方式、建立特定的工件坐标系,通过设计要求选取测量元素、编制测量程序、CNC测量、输出测量数据等方法的应用,使得RFQ腔体测量精度控制在0.01 mm以内,通过分析与评价得出各项测量结果均符合设计要求。
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