超大机电耦合系数声波谐振器的研究

作者：张小德; 王华磊^*; 李儒章; 钟慧; 石玉

来源：压电与声光, 2021, 43(03): 328-335.

• 声表面波(SAW)
• PIN-PMN-PT
• COMSOL
• SH0模态
• 机电耦合系数

该文研究了Pb(In1/2Nb1/2)O3-Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3(PIN-PMN-PT)基片上声表面波(SAW)的传播特性。利用COMSOL软件建立SAW谐振器三维模型并进行模拟仿真。通过优化谐振器参数,设计了一种具有超大机电耦合系数(K2)的谐振器结构。结果表明,当欧拉角为(0°,-70°,0°)时,SH0模态的K2可优化到约85%,且通带内无寄生响应。

• 单位
  电子科技大学