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摘要
真空器件的寿命主要取决于封装结构的极小漏率，为了保证真空器件的真空寿命，通常需要其封装结构具有极小的漏率。针对极小漏率的超高灵敏度检测，文中设计了基于PLC和MCGS的控制系统，通过工控机与PLC之间的Modbus通信以及与质谱计之间的OPC通信，实现了超高灵敏度检漏仪各部件的自动控制和底层数据的采集交换，提高了超高灵敏度检漏仪的灵敏度和自动化水平。系统上位机由MCGS组态软件实现账户登录、数据导出、曲线动态显示等功能。主程序及功能模块程序由PLC控制执行，提高了设备的可靠性，同时提高了检测效率，减少了检漏操作人员的劳动强度，减小了误操作的可能性。
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