5英寸钽酸锂晶体生长工艺技术研究

作者：康平; 张振志; 周志强; 韦勇; 张寒贫; 杜小红; 陈建; 张庆海; 成肇安

来源：人工晶体学报, 2006, (06): 1388-1391.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2006.06.049

• 5英寸钽酸锂
• 上称重
• 铱坩埚 ф5 inch LiTaO_3 crystal
• up metage system
• Ir crucible

本文着重介绍了用铱坩埚提拉法生长5英寸钽酸锂(LT)晶体的工艺过程,该工艺使用超大尺寸铱坩埚生长LT晶体;设计了稳定并可调节纵向及径向温度梯度的温场;采用了大量程、高灵敏度的上称重技术;运用逆向模拟法的模拟体设计。这些技术的集成,是5英寸晶体生长成功的必要保证。