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摘要
针对柔性微波毫米波电路在军民用领的需求,提出了以PDMS(聚二甲基硅氧烷)为材料的柔性基材,通过研究PDMS的基本特性,例如电磁特性、光学特性和力学特性等,证明了其在微波毫米波领域使用的可能性。通过研究PDMS的制备方法和表面直接溅射金属的工艺,以及网格化金属层的拉伸分析,选取了马蹄形、正弦形以及椭圆形三种不同的金属化网格方法,研制了一种可拉伸30%的微带传输线和透明的大面积金属网格层。通过工艺摸索、热学仿真和系统测试,研究了一种基于PDMS微流道的柔性散热电路,验证了柔性热沉在微波电路中使用的可能性。
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