真空涂层设备SIS设计及应用

作者：游锦山

来源：真空, 2021, 58(05): 80-84.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2021.05.14

• 真空涂层设备
• 安全回路
• SIS
• SIL

研究了真空涂层设备控制系统和工艺安全要求的特性,提出以IEC 62061标准完成设备的SIL评估、SIS设计和SIL验证,完成了整套SIS的集成和应用研发,并实现了SIS与总控系统的信息交互和联锁保护,研发的SIS已经使用到多套真空涂层设备之中,有效地保护了人身和财产安全。

• 单位
  合肥亿福自动化科技有限公司