摘要

在实际抛光过程中,磨粒会以不同的抛光速度与抛光深度对工件进行抛光,当加工参数改变时,抛光产生的力,切屑的形式及工件内部产生的缺陷不同,通过分子动力学仿真,建立纳米尺度下的两体抛光单晶铜模型,探究在抛光过程中深度变化对单晶铜的影响。结果表明:抛光深度对切向力的影响大于法向力,且随着抛光深度的增加,抛光力稳定性降低;抛光深度对侧向力稳定性的影响最大,随着抛光深度的增加,切屑的侧流减小,但增加了工件表面的滑移现象,使工件表面质量降低。