高纯电子特气六氟丁二烯纯化技术的发展

作者：张浩; 徐海云; 郭君

来源：化学工程与装备, 2020, (12): 255-256.

DOI：10.19566/j.cnki.cn35-1285/tq.2020.12.108

• 六氟丁二烯
• 蚀刻
• 纯化技术

六氟丁二烯(C4F6)是一种新型的含氟电子气体,具有极其优越的蚀刻性能,且对环境友好。本文章首先介绍了C4F6的物理性质和蚀刻特点,进而论述了我国及国外六氟丁二烯纯化技术的发展现状,为我国的C4F6纯化技术提供一定的理论依据。

• 单位
  中国船舶重工集团公司第七一八研究所