一种用于高精度环规内径测量的激光三角法位移测量系统设计

作者：吴新峰; 华志超

来源：计量与测试技术, 2023, 50(09): 75-77.

DOI：10.15988/j.cnki.1004-6941.2023.9.022

• 激光三角法
• 内径

环规的内径测量是保证环规是否满足正常使用要求的重要手段，而传统的接触式环规内径测量方法容易对被测件表面形成破坏。本文提出一种基于激光三角法的环规内径测量方法，并对其位移测量系统进行设计。结果表明：该系统的理论测量精度可达到±0.2um,且相对光谱共焦位移传感器具有价格低、实施简单等特点，具有一定推广价值。