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摘要
由于需要外部电源的接入，传统芯片上的环形结构的物质波波导无法形成完全封闭的环形结构，其产生的环形磁阱存在天然缺陷，阻碍了对冷原子的有效操控。利用硅通孔(TSV)技术能够在垂直于原子芯片表面方向接入导线，有望降低接入导线对环形磁阱的影响。本文通过有限元方法对基于TSV技术的环形原子物质波波导进行仿真研究，对导线加载电流时的磁场进行仿真分析，并系统研究了TSV横截面形状、通孔深度、通孔间隙等因素对环形导线所产生磁阱的影响。最终结合仿真结果，设计一种在加工工艺上切实可行的基于TSV结构的环形波导原子芯片。
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单位中国工程物理研究院; 中国工程物理研究院电子工程研究所
