(Zr,Sn)TiO_4薄膜的制备及电性能研究进展

作者：陈飞; 周洪庆; 朱海奎; 韦鹏飞; 陈栋; 刘敏

来源：硅酸盐通报, 2009, 28(05): 986-990.

DOI：10.16552/j.cnki.issn1001-1625.2009.05.029

• Zr
• Sn)TiO4薄膜
• 晶体结构
• 制备
• 性能 (Zr
• Sn)TiO4 thin films
• crystal structure
• preparation
• properties

从对薄膜材料不断增长的性能要求出发,介绍了(Zr,Sn)TiO4薄膜的晶体结构特征,主要阐述了其已有的制备工艺及电性能的研究进展。提出(Zr,Sn)TiO4薄膜的制备方法将得到拓展和改进,指出了其今后的研究方向。

• 单位
  南京工业大学; 材料科学与工程学院