36°YX-LiTaO3/SiO2结构Love波气体传感器研究

作者：陈桂; 王文; 谢晓; 何世堂

来源：压电与声光, 2015, 37(03): 377-379.

• Love波
• SiO2
• 灵敏度特性
• 36°YX-LiTaO3

该文研究了一种覆盖六氟-2-羟基异丙基聚硅氧烷(SXFA)敏感膜,并针对有机磷化学物检测的新型Love波传感器,采用36°YX-LiTaO3与SiO2分别作为Love波延迟线器件的压电基底与波导层材料。将所研制的Love波器件作为差分振荡器的频率控制单元,结合SXFA敏感膜,开展了针对甲基磷酸二甲(DMMP)的气体传感实验,分析了不同波导层膜厚对Love波传感器气体响应的影响,并与传统瑞利型声表面波模式的气体传感器性能进行了对比,实验结果显示,Love波模式传感器表现出高灵敏度特性。

• 单位
  中国科学院声学研究所; 声场声信息国家重点实验室